AChem-82晶圓洗邊劑(EBR)

AChem-82即是EBR(Edge Bead Remover)，主要作為晶圓晶背清洗劑使用。

產品用途：

電子級的清洗劑使用，也可當稀釋劑使用，可依照不同的需求而生產。

產品說明：

主要成份分別為PGME(丙二醇單甲基醚)與PGMEA(丙二醇單甲基醚酯)兩種。

詳細介紹

AChem-82為半導體製程專用EBR（Edge Bead Remover）晶圓洗邊劑，採用PGME與PGMEA電子級溶劑配方，具優異清洗能力與穩定性，適用於晶圓晶背清潔與電子級製程應用。